氣體通道冷卻器 ThermoTSTGC80氣體制冷機(jī)是一種閉環(huán)制冷系統(tǒng),設(shè)計(jì)用于將干燥氣體(如氮?dú)?,氬氣或空?從環(huán)境溫度冷卻到低溫,而無(wú)需預(yù)冷。氣體是非循環(huán)的。
氣體通道冷卻器 ThermoTSTGC80使用制冷級(jí)聯(lián)技術(shù),以實(shí)現(xiàn)低溫和低溫冷卻氣體冷卻工藝,無(wú)需使用液氮和干冰的消耗性冷卻劑,降低了成本、風(fēng)險(xiǎn);是氣體制冷應(yīng)用非常具有成本效益的系統(tǒng)。
氣體通道冷卻器 ThermoTSTGC80是高度可靠的制程氣體制冷系統(tǒng),廣泛用于航空航天,汽車(chē),,半導(dǎo)體和其他行業(yè)。
特征:
結(jié)構(gòu)緊湊,移動(dòng)式設(shè)計(jì)
觸摸屏操作,人機(jī)交互界面
不需要液氮LN2,干冰
出口氣體流量可自行設(shè)定
集成式氣體干燥器,無(wú)需外置(壓縮空氣配置選項(xiàng),小于24SCFM的系統(tǒng))
單級(jí)壓縮機(jī),節(jié)能環(huán)保,性能可靠
風(fēng)冷或水冷機(jī)型可選
專(zhuān)有制冷劑,符合環(huán)境氣候協(xié)議
應(yīng)用:
電子產(chǎn)品的低溫性能驗(yàn)證
半導(dǎo)體加工部件冷卻
晶圓卡盤(pán)的低溫冷卻
真空腔室的低溫氣體充注
流變學(xué)研究
材料的低溫表征實(shí)驗(yàn)
技術(shù)規(guī)格:
型號(hào)
GC25
GC60
GC80
GC80H
溫度
≤ -25℃
≤ -60℃
≤ -80℃
流量范圍*1
3 ~ 10SCFM(1.4L/s ~ 4.7L/s)
4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s)
5 ~24 SCFM(1.9 L/s ~ 11.3L/s)
供氣流量
8 至 15 SCFM (3.8 至 7.0 L/s)
15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s)
性能*2
≤-25°C,制冷機(jī)輸出10SCFM
≤-60°C,制冷機(jī)輸出18SCFM
≤-80°C,制冷機(jī)輸出18SCFM
≤-80°C,制冷機(jī)輸出22SCFM
預(yù)冷時(shí)間
≤ 10min
≤ 20min
操作界面
高清彩色觸摸屏,7 TFT
系統(tǒng)語(yǔ)言
中文/英文
進(jìn)/出氣接口
1/4”Rc Female
3/8”Rc Female
1/2”Rc Female
3/4”Rc Female
通訊接口
RS232,LAN
制冷劑
專(zhuān)有環(huán)保型制冷劑
噪音
≤ 52dBA
≤ 65dBA
≤ 69dBA
氣源要求
氣體*3
各種干燥氣體(如:氮?dú)?,氬氣,氧氣等)或潔凈的壓縮空氣
氣體潔凈度
油分子:≤ 0.01ppm,過(guò)濾至0.1um的油霧/粉塵污染物
進(jìn)氣溫度
+5°C至+25°C
CDA時(shí)壓力露點(diǎn)
< 10℃ @0.62Mpa(90PSI)
CDA時(shí)進(jìn)氣壓力*4
15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s);標(biāo)準(zhǔn)25SCFM(11.8L/S)
工作環(huán)境要求
+10℃至+ 25℃
相對(duì)濕度
25%至65%
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氣體通道冷卻器 ThermoTSTGC80氣體制冷機(jī)是一種閉環(huán)制冷系統(tǒng),設(shè)計(jì)用于將干燥氣體(如氮?dú)?,氬氣或空?從環(huán)境溫度冷卻到低溫,而無(wú)需預(yù)冷。氣體是非循環(huán)的。
氣體通道冷卻器 ThermoTSTGC80使用制冷級(jí)聯(lián)技術(shù),以實(shí)現(xiàn)低溫和低溫冷卻氣體冷卻工藝,無(wú)需使用液氮和干冰的消耗性冷卻劑,降低了成本、風(fēng)險(xiǎn);是氣體制冷應(yīng)用非常具有成本效益的系統(tǒng)。
氣體通道冷卻器 ThermoTSTGC80是高度可靠的制程氣體制冷系統(tǒng),廣泛用于航空航天,汽車(chē),,半導(dǎo)體和其他行業(yè)。
特征:
結(jié)構(gòu)緊湊,移動(dòng)式設(shè)計(jì)
觸摸屏操作,人機(jī)交互界面
不需要液氮LN2,干冰
出口氣體流量可自行設(shè)定
集成式氣體干燥器,無(wú)需外置(壓縮空氣配置選項(xiàng),小于24SCFM的系統(tǒng))
單級(jí)壓縮機(jī),節(jié)能環(huán)保,性能可靠
風(fēng)冷或水冷機(jī)型可選
專(zhuān)有制冷劑,符合環(huán)境氣候協(xié)議
應(yīng)用:
電子產(chǎn)品的低溫性能驗(yàn)證
半導(dǎo)體加工部件冷卻
晶圓卡盤(pán)的低溫冷卻
真空腔室的低溫氣體充注
流變學(xué)研究
材料的低溫表征實(shí)驗(yàn)
技術(shù)規(guī)格:
型號(hào)
GC25
GC60
GC80
GC80H
溫度
≤ -25℃
≤ -60℃
≤ -80℃
≤ -80℃
流量范圍*1
3 ~ 10SCFM(1.4L/s ~ 4.7L/s)
4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s)
4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s)
5 ~24 SCFM(1.9 L/s ~ 11.3L/s)
供氣流量
8 至 15 SCFM (3.8 至 7.0 L/s)
15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s)
15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s)
15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s)
性能*2
≤-25°C,制冷機(jī)輸出10SCFM
≤-60°C,制冷機(jī)輸出18SCFM
≤-80°C,制冷機(jī)輸出18SCFM
≤-80°C,制冷機(jī)輸出22SCFM
預(yù)冷時(shí)間
≤ 10min
≤ 20min
≤ 20min
≤ 20min
操作界面
高清彩色觸摸屏,7 TFT
高清彩色觸摸屏,7 TFT
高清彩色觸摸屏,7 TFT
高清彩色觸摸屏,7 TFT
系統(tǒng)語(yǔ)言
中文/英文
中文/英文
中文/英文
中文/英文
進(jìn)/出氣接口
1/4”Rc Female
3/8”Rc Female
1/2”Rc Female
1/2”Rc Female
1/2”Rc Female
1/2”Rc Female
1/2”Rc Female
3/4”Rc Female
通訊接口
RS232,LAN
RS232,LAN
RS232,LAN
RS232,LAN
制冷劑
專(zhuān)有環(huán)保型制冷劑
專(zhuān)有環(huán)保型制冷劑
專(zhuān)有環(huán)保型制冷劑
專(zhuān)有環(huán)保型制冷劑
噪音
≤ 52dBA
≤ 65dBA
≤ 65dBA
≤ 69dBA
氣源要求
氣體*3
各種干燥氣體(如:氮?dú)?,氬氣,氧氣等)或潔凈的壓縮空氣
氣體潔凈度
油分子:≤ 0.01ppm,過(guò)濾至0.1um的油霧/粉塵污染物
進(jìn)氣溫度
+5°C至+25°C
CDA時(shí)壓力露點(diǎn)
< 10℃ @0.62Mpa(90PSI)
CDA時(shí)進(jìn)氣壓力*4
15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s);標(biāo)準(zhǔn)25SCFM(11.8L/S)
工作環(huán)境要求
溫度
+10℃至+ 25℃
相對(duì)濕度
25%至65%