【基本規(guī)格】
| 產(chǎn)品名稱 | 化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng) | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型 | CS-1000 型 | ||||
| 測量項(xiàng)目 | 化學(xué)濃度、電導(dǎo)率、pH 值 | ||||
| 測量原理 | 吸收光譜、雙極導(dǎo)電、玻璃電極 | ||||
| 目標(biāo)化學(xué)品 | 半導(dǎo)體制造工藝中使用的多組分化學(xué)品（詳情請聯(lián)系我們） | ||||
| 外形尺寸 | 700 （W） × 610 （D） × 1640 （H） mm（不包括突出部分） | ||||
| 質(zhì)量 | 約 200 公斤 | ||||
| 接液材料 |
柜式（PFA、PTFE） 分光光度計(jì)（PFA、PTFE、石英、Kalrez?） 電導(dǎo)率儀（PFA、碳、Kalrez?） pH 計(jì) - 排水（PVC、PTFE、玻璃、ETFE、PEEK、烯烴樹脂、THV、PFA、 Kalrez?， PharMed BPT） *Karlez? 是 DuPont de Nemours， Inc. 的商標(biāo)。 |
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| 標(biāo)準(zhǔn) | CE ， KC ， FCC 規(guī)則 Part15 ， UKCA ， SEMI S2 | ||||
[安裝環(huán)境]
| 環(huán)境溫度 | 20~30 °C（室溫?zé)o突然變化，±0.5 °C/1 小時(shí)以內(nèi)） |
|---|---|
| 環(huán)境濕度 | 40~70%RH （無冷凝） |
| 權(quán)力 | AC 190~240V（單相），50/60Hz |
| 功耗 | 約 355 VA（不包括啟動時(shí)的瞬態(tài)電流） |
| 通信 |
模擬輸出：4-20mA，串行輸入/輸出：RS-485 Modbus（RTU），并行輸入/輸出 * 但是，當(dāng)測量值未更新時(shí)，例如設(shè)備異常時(shí)，它固定為 1.5mA。 |
[保養(yǎng)]
| 消耗品 |
由客戶或我們的服務(wù)工程師 更換零件 鹵素?zé)簦ㄊ褂脡勖s 1 年） 氘 燈（使用壽命約半年） 試劑 pH 4（符合 JIS 標(biāo)準(zhǔn)）、pH 7（符合 JIS）、KCl（3.33 moL AgCl 飽和液體）（更換周期：約半年） |
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