HORIBA掘場CS-620F 光纖熱磷酸鹽濃度監(jiān)測儀北崎國際
HORIBA掘場CS-620F 光纖熱磷酸鹽濃度監(jiān)測儀北崎國際
半導體制造工藝，主要是 3D NAND 閃存的 SiN 層※1它是控制蝕刻過程中所用磷酸濃度的理想選擇。
由于無需冷卻即可直接測量循環(huán)管路中的高濃度（高達 92%）和高溫磷酸 （140-170°C），因此無需冷卻機構(gòu)和冷卻時間。
在樣品連接處使用 PFA 可降低污染風險。
實時測量每 3 秒更新一次測量數(shù)據(jù)，實現(xiàn)更快的濃度反饋控制。
采用半年一次的背景校正周期減少了設(shè)備停機時間。
該磷酸濃度監(jiān)測儀無需冷卻即可實時測量高溫磷酸。
*1 SiN 層：在硅晶片上形成的硅和氮化合物的薄膜。
高濃度、高溫
低污染風險
實現(xiàn)更快的反饋控制
減少設(shè)備停機時間
產(chǎn)品名稱
化學品濃度監(jiān)測儀
型
CS-620F 系列
測量原理
吸收光譜
濃度計算原理
溫度補償多變量分析方法
測量目標
H3采購訂單4/小時2O
測量范圍和
重復精度
成分名稱
測量范圍 （mass%）
重復精度 （mass%）
模擬輸出范圍 （mass%）
*種化學溶液
H3采購訂單4
85.00-92.00
+/-0.10
85.00-100.00
H2O
8.0-15.0
+/-0.3
0.0-15.0
?再現(xiàn)性精度由平均值的*誤差（1 小時）。
?對于相同的化學溶液，在化學溫度范圍 （140-170 °C） 內(nèi)可能會出現(xiàn)高達 +/- 0.3% 的*參考值差異。
測量條件
1） 測量間隔：約 3 秒
2） 移動平均：16 次
連接配件尺寸
1 英寸或 3/4 英寸
測量液體條件
化學溫度：140-170°C 化學
溫度變化、環(huán)境溫度變化±1°C（1小時）以內(nèi) 輸入
壓力：0.2MPa以下
壓力波動：0.02MPa以下
流量：1-30L/min
儀表空氣（作和吹掃）
配合：4 mm 外徑快速配合
壓力：0.2 MPa ± 0.02 MPa
權(quán)力
100-230 V AC（單相）、50/60 Hz
功耗
約 85 VA（不包括啟動瞬態(tài)電流）
通信協(xié)調(diào)
并行 I/O、RS-232C、模擬輸出
外形尺寸
（顯示器本體） 200 （W） X308 （D） X78 （H） mm （不包括突起部分）
（光源單元） 200 （W） X262 （D） X100 （H） mm （不包括突起部分）
（樣品池） 240 （W） X209 （D） X205 （H） mm （不包括突起部分）
質(zhì)量
（顯示器本體） 約 3.6 kg
（光源單元） 約 2.8 kg
（樣品池） 約 3.0 kg
安裝溫度
（監(jiān)視器和光源單元通用） 20-30°C
（光纖、樣品池） 20-100°C
* 室溫無突然變化，± 1 °C / 1 小時內(nèi)
安裝 相對濕度
40-70 % （非冷凝）
安裝傾斜角度
（顯示器和光源單元通用） ± 1° 以內(nèi)（
樣品池） 安裝池，使其向上流動，使氣泡不會停滯
光纖
標準長度 5 m，*小彎曲半徑 150 mm
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