北崎供應EBARA 荏原 RJ-XA 低溫冷卻器
北崎供應EBARA 荏原 RJ-XA 低溫冷卻器
該用于半導體制造設備的冷水機組使用符合全球環(huán)境法規(guī)的低 GWP* 制冷劑 （R513A）。 通過逆變器控制可以降低功耗。
作為可選規(guī)格，它還提供不使用銅或黃銅材料作為接液部件的規(guī)格，從而降低了腐蝕風險。
| 型 | RJ-XA1V 系列 | |||
| 冷卻能力 （50Hz/60Hz） | 千瓦 | 3.7 （10°C 時） 6.1 （20°C 時） | ||
| 溫度控制范圍 | °C | 5~40 | ||
| 溫度控制精度 | °C | ± 0.1 | ||
| 尺寸（寬 x 深 x 高） | 毫米 | 375 x 1050 x 1150 | ||
| 質量 | 公斤 | 160 （不包括循環(huán)液和冷卻水） | ||
| 循環(huán)液 | 使用的流體 | 純水、*等 | ||
| 壓力進料泵容量 | 升/分鐘 | 20 （0.49MPa） | ||
| 冷卻水 | 溫度范圍 | °C | 10~25 | |
| 安全標準 | SEMI（S2. S8. F47）、CE、NRTL | |||
| 權力 | V | 三相 200~208 | ||
| 運行控制方法 | 變頻器控制方法 | |||
| 使用的制冷劑 | R513A（全球變暖值：629） | |||
北崎8年，日本會社20年，專注領域如下：
儀器相關：
山高SANKO（代理）、東機產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）
備件設備相關：
柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）
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