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FDS型是無需廢水處理、能夠高效**處理PFCs氣體的干式廢氣處理裝置?？筛咝幚?9.9%以上的PFCs氣體，分解后的含氟廢氣能夠干式固定，所以不會(huì)產(chǎn)生廢水，無需進(jìn)行有毒廢水處理。產(chǎn)品陣容包括：*大流入廢氣量250L/min、PFCs去除效率99%以上（使用250L/min雙筒式)、通過反應(yīng)槽串行流程設(shè)計(jì)可大幅提高裝置運(yùn)行時(shí)間的雙筒式設(shè)備；方便與傳統(tǒng)干式廢氣處理裝置相互置換的單筒式設(shè)備。該裝置也是不具備廢水處理設(shè)備和燃料線路的實(shí)驗(yàn)室的*佳選擇。
| 設(shè)備名稱 | 單位 | FDS100S | FDS250 |
| 處理方式 | 干式 | 干式 | |
| 反應(yīng)槽條數(shù) | 1 | 2 | |
| 反應(yīng)槽更換檢測(cè) | 標(biāo)準(zhǔn)：荷重計(jì) 選項(xiàng)：PFC檢測(cè)器 | 標(biāo)準(zhǔn)：PFC檢測(cè)器 | |
| *大允許流入氣體量 | L/min | 100L/min | 250L/min |
| 尺寸 | W x D x H mm | 600×600×2,000mm | 1,605×1,000×2,507 |
| 處理劑壽命 | L/支 | CF4 : 3,000 | CF4 : 10,000 |
| 處理對(duì)象氣體 | CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3等 | CF4、C2F6、C3F6、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3等 | |
北崎8年，日本會(huì)社20年，專注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）
備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫(kù)森KOKUSAN
光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）
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