LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3462L
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3462L
質量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一種用于測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業(yè)設備。
質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后,部分的氣體從分流器導入質流傳感器,由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號,反饋調節(jié)控制閥的開度,以此進行流量的控制。
核心技術架構
傳感系統(tǒng):
熱式傳感:基于King's Law原理,采用毛細管式或旁路式設計,溫度分辨率達0.01℃
壓差式傳感:基于層流元件和壓差傳感器組合,適用于大流量范圍(0.1-5000SLM)
科里奧利式:直接質量測量,精度可達±0.1%讀數(shù)
閥體系統(tǒng):
壓電瓷閥(響應時間<10ms)
電磁比例閥(壽命>10?次循環(huán))
金屬密封閥座(耐壓10MPa)
溫度 | *下壓差 | *壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *小F.S. | 密封件 |
5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~*F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
典型應用場景
1. 半導體制造:
晶圓刻蝕工藝(Cl?、CF?等特種氣體控制)
CVD沉積(SiH?/N?O流量比控制±1%)
離子注入(BF?/PH?配氣)
2. 新能源領域:
燃料電池氫氣供應(動態(tài)響應<50ms)
鋰電材料燒結(N?/O?混合控制)
光伏硅烷沉積(流量波動<±0.3%)
3. 制藥行業(yè):
生物反應器氣體供應(O?/CO?/N?三聯(lián)控)
凍干機惰性氣體保護(露點控制<-70℃)
無菌灌裝環(huán)境控制(ISO 5級潔凈度)
LINTEC(琳得科)是一家全球*的高性能膠帶、粘合材料及功能性薄膜制造商,部位于日本,成立于1954年。憑借過半個世紀的技術積累與創(chuàng)新,LINTEC已成為電子、汽車、建筑、印刷包裝等行業(yè)的核心材料供應商,以*的產(chǎn)品質量和*的解決方案聞名。
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