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LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3462L

發(fā)布時間:2025/05/20 11:48:54 發(fā)布廠商:高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司 >> 進入該公司展臺

LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3462L

LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3462L

質量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一種用于測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業(yè)設備。

質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后,部分的氣體從分流器導入質流傳感器,由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號,反饋調節(jié)控制閥的開度,以此進行流量的控制。

LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3462L

核心技術架構

傳感系統(tǒng):

熱式傳感:基于King's Law原理,采用毛細管式或旁路式設計,溫度分辨率達0.01℃

壓差式傳感:基于層流元件和壓差傳感器組合,適用于大流量范圍(0.1-5000SLM)

科里奧利式:直接質量測量,精度可達±0.1%讀數(shù)

閥體系統(tǒng):

壓電瓷閥(響應時間<10ms)

電磁比例閥(壽命>10?次循環(huán))

金屬密封閥座(耐壓10MPa)

溫度 *下壓差 *壓差 精度 控制范圍 *小F.S. *小F.S. 密封件
5~50℃ 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~*F.S. 5SCCM 400SLM Au

典型應用場景

1. 半導體制造:

晶圓刻蝕工藝(Cl?、CF?等特種氣體控制)

CVD沉積(SiH?/N?O流量比控制±1%)

離子注入(BF?/PH?配氣)

2. 新能源領域:

燃料電池氫氣供應(動態(tài)響應<50ms)

鋰電材料燒結(N?/O?混合控制)

光伏硅烷沉積(流量波動<±0.3%)

3. 制藥行業(yè):

生物反應器氣體供應(O?/CO?/N?三聯(lián)控)

凍干機惰性氣體保護(露點控制<-70℃)

無菌灌裝環(huán)境控制(ISO 5級潔凈度)

LINTEC(琳得科)是一家全球*的高性能膠帶、粘合材料及功能性薄膜制造商,部位于日本,成立于1954年。憑借過半個世紀的技術積累與創(chuàng)新,LINTEC已成為電子、汽車、建筑、印刷包裝等行業(yè)的核心材料供應商,以*的產(chǎn)品質量和*的解決方案聞名。
核心技術領域
LINTEC的核心業(yè)務涵蓋三大方向:
電子材料:生產(chǎn)半導體封裝膠帶、光學薄膜、導電膠帶等,廣泛應用于智能手機、平板電腦及半導體制造,助力高精度電子元件加工。
工業(yè)膠帶:提供汽車粘接、建筑密封等高性能膠帶,以耐候性、強粘著力著稱,服務于豐田、本田等企業(yè)。
印刷與包裝材料:開發(fā)環(huán)保型標簽、裝飾膜等,兼顧美觀與功能性,適用于食品、醫(yī)藥等行業(yè)。

LINTEC琳得科
加熱器
質量流量控制器
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