一、前言

通過侵蝕材料的特性來進行雕刻的一種液體。 目前已經(jīng)使用的蝕刻液類型主要有六種類型:酸性氯化 銅、堿性氯化銅、氯化鐵、過硫酸銨、硫酸/鉻酸、硫酸/雙氧水蝕刻液。其中氯化鐵蝕刻液的刻蝕速度主 要受刻蝕溫度、鹽酸含量和鐵離子含量的影響。其中蝕刻液中鹽酸添加量的影響:在蝕刻液中加入鹽酸， 可以抑制FeCl3 水解，并可提高蝕刻速率，尤其是當(dāng)溶銅量達到 37.4g/L 后，鹽酸的作用更明顯。但是鹽 酸的添加量要適當(dāng)，酸度太高，會導(dǎo)致液態(tài)光致抗蝕劑涂層的破壞。本次實驗采用JH-T6全自動電位滴定 儀按照其電位突躍點確定終點，測定其鹽酸的含量，驗證實驗方案的可行性。

二、儀器與試劑

2.1、儀器

JH-T6全自動電位滴定儀，復(fù)合 PH 電極，分析天平等

2.2、試劑

3mol/L KF 溶液，0.1mol/L 氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定液

三、實驗方法

3.1、實驗過程：

準(zhǔn)確稱取 1g 待測試樣（至 0.0001g）,依次加入 50mL 去離子水，25mL 3mol/L 的 KF 溶液，混合 均勻，用好的氫氧化鈉滴定液滴定至電位突越終點，同時做空白試驗，計算鹽酸含量。

3.2、儀器參數(shù)

儀器參數(shù)，如表 1 所示：

表 1 滴定儀參數(shù)設(shè)置

四、結(jié)果與討論

4.1、實驗結(jié)果

樣品經(jīng)測試，得到實驗結(jié)果如表 2 所示：

表 2 含量測試結(jié)果

4.2、滴定圖譜

4.3、結(jié)論

本次測試通過電位滴定法測試刻蝕液中鹽酸的含量，儀器判斷減少了人工誤差，大大提高了實驗的精 度。因此電位滴定法是檢測該類樣品的不錯選擇。