進(jìn)口供應(yīng)IWAKI易威奇 FS-H 氣動(dòng)波紋管泵
進(jìn)口供應(yīng)IWAKI易威奇 FS-H 氣動(dòng)波紋管泵
氣動(dòng)波紋管泵 FS-H 系列
*放電速率:55L/min高速行程,體積
小、重量輕、成本低
FS-H 系列的特點(diǎn)
緊湊、輕量、低成本
更快的泵沖程(* 240 spm*),以實(shí)現(xiàn)緊湊、輕量化和低成本。
注: 筆畫(huà)數(shù)因型號(hào)而異。
無(wú)污染設(shè)計(jì)
所有接液部件均由含氟聚合物制成。 泵的外圓周也涂有含氟聚合物,以確保沒(méi)有金屬暴露。 此外,使用我們專(zhuān)有的軸封進(jìn)一步減少了顆粒的產(chǎn)生。
液體溫度范圍寬,高壓排放
處理液體的液體溫度范圍為 5 至 180°C,排放壓力為 Max。 * 0.45 MPa。 它不僅可以用于清潔和 CMP 工藝,還可以用于化學(xué)工藝。
接近開(kāi)關(guān)方法
傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)用于切換電磁閥,泵中內(nèi)置了接近開(kāi)關(guān)。 它還標(biāo)配了一個(gè)泄漏傳感器。
易于使用
通過(guò)連接控制器,可以輕松控制和管理吐出量。
原理圖規(guī)格
*放電率 | 55升/分鐘 |
供氣壓力范圍 | 0.15?0.5MPa |
*空氣消耗量 | 670NL/分鐘 |
*泵沖程數(shù)注 | 240 平方米 |
主要材料 | 聚四氟乙烯、PFA |
液體溫度范圍 | 5?180°C |
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注:送風(fēng)壓力為 0.3-0.5MPa 時(shí),*為 180spm。
? *放電速率基于 20°C 清水。
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