HORIBA掘場(chǎng)VG-200S電容壓力計(jì) 隔膜真空計(jì)北崎供應(yīng)

2025/02/12 11:57:14

在線壓力測(cè)量是許多行業(yè)不可或缺的技術(shù)，包括半導(dǎo)體、平板顯示器、光伏板、硬盤和涂層。電容壓力計(jì)通過(guò)與對(duì)面電極的電容測(cè)量由隔膜兩側(cè)（稱為隔膜）之間的壓力差引起的位移量，并將其轉(zhuǎn)換為壓力。與其他壓力測(cè)量方法相比，電容壓力計(jì)具有以下特點(diǎn)：

*壓力測(cè)量
高精度和*的穩(wěn)定性
測(cè)量不受氣體類型的影響
?

HORIBA 的 VG-200S 電容壓力計(jì)是*小的自溫控真空計(jì)。的電極結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性。

業(yè)務(wù)領(lǐng)域：?半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別：?干法工藝控制

制造商：?HORIBA STEC， Co.， Ltd.

自控型和*小級(jí)
的電極結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性
SUS316L用于氣體接觸部分，包括隔膜。
不加熱，55°C溫控，可選擇100°C溫控
一推零
電源 ±15 VDC， 24 VDC
符合 CE、RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

型	VG-211S 系列		VG-221S 系列
F.S. 測(cè)量范圍	133.32帕斯（A）	1.3332 kPa （A） 13.332 kPa （A） 133.32 kPa （A）	133.32帕斯（A）	1.3332 kPa （A） 13.332 kPa （A） 133.32 kPa （A）
傳感器的溫度控制 *1	室溫（無(wú)加熱器）		55°C / 100°C
精度 *2	0.5% R.S.	0.25% R.S.	0.5% R.S.	0.25% R.S.
分辨率	0.03% F.S.	0.01% F.S.	0.03% F.S.	0.01% F.S.
零溫度系數(shù)	0.01% F.S./°C	0.005% F.S./°C	0.005% 滿量程 /°C	0.0025% 滿量程 /°C
跨度溫度系數(shù)	0.05% 讀數(shù)/°C	0.03% 讀數(shù)/°C	0.03% 讀數(shù)/°C	0.02% 讀數(shù) /°C
響應(yīng)時(shí)間	< 60 毫秒
工作溫度范圍 *3	10-50°C
氣體接觸材料	SUS316L
加壓極限	300kPA （A）	350kPa （A）	300kPa （A）	350kPa （A）
輸出信號(hào)	0-10VDC 負(fù)載電阻：>10kΩ
輸入/輸出連接器	D-Sub 15 針
電源電壓	+15VDC±5%、* 0.1A -15VDC±5%、* 0.1A		+15VDC±5%，* 0.6A。 -15VDC±5%，* 0.6A。
	24VDC±5%，* 2.4W		24VDC±5%，* 22W
預(yù)熱時(shí)間	15 分鐘		60 分鐘（55°C 溫控型） 120 分鐘（100°C 溫控型）
集電極開(kāi)路輸出	額定電壓：30V 額定電流：50mA
重新歸零輸入	無(wú)電壓觸點(diǎn)輸入觸點(diǎn)開(kāi)路電壓：13V *觸點(diǎn)電流：1.3mA
標(biāo)準(zhǔn)配件 *4	KF16， 1/2 英寸 VCR 母頭， ICF34， 1/4 英寸 VCR 母頭

可滾動(dòng)

*1 請(qǐng)?jiān)谟嗁?gòu)時(shí)溫度控制類型和溫度。
*2 包括線性度、滯后性和重現(xiàn)性。（環(huán)境溫度為 25°C 時(shí)）
*3 如果產(chǎn)品周圍有熱源，或者多個(gè)產(chǎn)品非常接近，則環(huán)境溫度可能會(huì)過(guò)規(guī)定的環(huán)境溫度。
*4 請(qǐng)?jiān)谟嗁?gòu)時(shí)配件。

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