日本EBARA荏原EV-S30耐腐蝕材料真空泵

2025/05/23 18:58:07

干式真空泵通過機械運動直接壓縮和排出氣體，無需液體介質(zhì)，避免油污染問題。其核心結(jié)構(gòu)類型包括：

螺桿式雙螺桿結(jié)構(gòu)：一對等速反向旋轉(zhuǎn)的螺桿轉(zhuǎn)子，通過阿基米德螺旋線與擺線輪廓設(shè)計形成密閉腔體，實現(xiàn)氣體的連續(xù)吸入與排出?13。

間隙控制：螺桿與泵腔保持微米級間隙，減少摩擦損耗，支持高轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)（可達6000 rpm），提升抽氣效率。

?多級羅茨式??多級串聯(lián)設(shè)計?：采用多級羅茨葉片轉(zhuǎn)子，通過逐級壓縮提高極限真空度（可達10?2 Pa），適用于含粉塵或腐蝕性氣體的環(huán)境?56。

?無接觸嚙合?：轉(zhuǎn)子間無物理接觸，通過同步齒輪驅(qū)動，降低磨損并延長使用壽命。

渦旋式動靜渦旋盤嚙合：通過漸開線型渦旋盤形成連續(xù)壓縮腔，實現(xiàn)無油、低振動運行，極限真空度達10?1 Pa，適用于實驗室和小型設(shè)備。

二、性能優(yōu)勢與創(chuàng)新技術(shù)

?無污染與耐腐蝕性?采用全密封結(jié)構(gòu)（如陶瓷涂層、不銹鋼材質(zhì)），防止?jié)櫥瓦M入泵腔，確保半導體制造、食品加工等場景的潔凈度?34。

特殊防腐處理（如鍍鎳或PTFE涂層）的泵體，耐受酸性氣體（如Cl?、H?S）和有機溶劑。

智能控制與能效優(yōu)化?集成變頻調(diào)速系統(tǒng)，根據(jù)負載動態(tài)調(diào)節(jié)電機功率，能耗降低20%以上。

傳感器實時監(jiān)測溫度、振動等參數(shù)，結(jié)合物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)實現(xiàn)遠程故障預警和維護提示。

模塊化與擴展性支持多級串聯(lián)或并聯(lián)，抽速范圍覆蓋10–1000 m3/h，可適配不同真空需求（如半導體前級泵需搭配分子泵使用）。

快速拆卸設(shè)計，更換核心部件（如轉(zhuǎn)子、密封件）耗時縮短至2小時內(nèi)，減少停機損失。