ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵 LR1800

2025/07/01 16:03:43

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內不使用油或液體的機械真空泵。
在 FPD、電子和半導體行業(yè)等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。
通過在低溫范圍內平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時間以提高吞吐量非常重要。

ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵 LR1800
長處
除了低溫整平（型號：LR）
PVD 工藝外，它還特別適用于制備室和取出室的排氣，在這些地方，縮短抽氣時間對于提高產量很重要。
由于其密封結構，由于其密封
結構，它非常安全。
瞬時停止：在 1000 毫秒內實施瞬時停止
措施。
優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊
表面處理。減少排空腐蝕性氣體時泵內部的腐蝕。
通信功能：
可以讀取泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數(shù)據(jù)。通過使用軟件和計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。
用
成膜設備（濺射設備、氣相沉積設備等）
減少準備室和取出室的排氣時間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵的輔助排氣、機械增壓泵）
規(guī)范
型
LR300 系列
LR600 系列
LR1200型
LR1800 系列
LR3601 系列
LR3601-T（TT）銅皮
LR3601-R
LR3601-TR（TTR）銅
使用的泵
DRP
LR60 系列
LR90 系列
LR90 系列
LR180型
LR421 系列
LR421-T
LR421 系列
LR421-T
MPB
PRC-003A 系列
PRC-006A 系列
PRC-012A 系列
PRC-018A 系列
PRC-036C 系列
PRC-036C（-T）系列
PRC-036D 系列
PRC-036D（D-T）系列
*抽速
50 赫茲
m3/h
（升/分鐘）
359
（5,980）
653
（10,900）
1,012
（16,900）
1,701
（28,350）
3,200 (53,333)
60 赫茲
m3/h
（升/分鐘）
365
（6,080）
701
（11,700）
1,051 米
（17,500）
1,784
（29,700）
3,200 (53,333)
極限壓力
0.67 帕
*入口壓力（入口壓力）
氣壓
*排氣口壓力（排氣壓力）
1Pa ~ 大氣壓
進氣口（CE 規(guī)格）
VG80 （KF80）
VG100
型（KF100）
VG150
型（KF100）
VG150型
排氣口
肯氟烴40
KF50 系列
MBP 表面處理
〇 *2
〇 *2
〇 *2
〇 *2
×
T：×
TT：×
×
TR：×
TTR：〇
質量
公斤
275
370
420
545
660
720
660
720
電力 *3
三個階段
VAC （赫茲）
200 (50/60), 220 (60)
0 （50/60）
當前值
穩(wěn)態(tài)
一個
7.0
（200V 時）
12.3
（200V 時）
13.7
（200V 時）
21.4
（200V 時）
31.0 （200V 時） 400V
時 20.5
35.4 （200V 時） 400V
時 20.5
*值
一個
9.6
（200V 時）
19.0
（200V 時）
24.2
（200V 時）
39.8
（200V 時）
200V 時為 58.4,400V
時為 40.5
82.0 （200V 時）400V
時 40.5
冷卻水臨時壓力
兆帕
0.1~0.3
0.2~0.5
冷卻水入口/出口壓差
兆帕
>0.1
0.1~0.3
0.2~0.5
冷卻水流量
升/分鐘
>5.0
>4.0
吹掃氣體
一次壓力
兆帕
0.1~0.5
二次壓力
兆帕
0.05~0.1
N2 吹掃
軸
SLM 系列
5
加斯伯勒
SLM 系列
0~45
無 *4
0~45
無 *4
0~45
ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。

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