LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3452L

質量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業(yè)設備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動化過程控制的核心組件，MFC通過將質量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實現(xiàn)對流體流量的高精度閉環(huán)控制，典型控制精度可達±0.5%～±1.0%滿量程（FS）。

質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質流傳感器，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調節(jié)控制閥的開度，以此進行流量的控制。

型應用場景

1. 半導體制造：

晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）

CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）

2. 新能源領域：

燃料電池氫氣供應（動態(tài)響應<50ms）

鋰電材料燒結（N?/O?混合控制））

3. 制藥行業(yè)：

生物反應器氣體供應（O?/CO?/N?三聯(lián)控）

凍干機惰性氣體保護（露點控制<-70℃）

無菌灌裝環(huán)境控制（ISO 5級潔凈度）

4. 科研實驗：

催化反應研究（多路氣體并行控制）

技術驗證數(shù)據(jù)

案例1：半導體刻蝕工藝

控制氣體：Cl?/HBr混合氣

流量范圍：50-200sccm

穩(wěn)定性測試：8小時波動<±0.3%

案例2：燃料電池測試

氫氣流量：0-5000sccm

階躍響應：10%-90%流量變化耗時200ms

耐久測試：連續(xù)工作5000小時零漂移