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日本HORIBA堀場EC-5104 排氣壓力控制器北崎供應
2025/02/12 11:36:37
HORIBA堀場EC-5104 排氣壓力控制器北崎供應
HORIBA堀場EC-5104 排氣壓力控制器北崎供應
排氣壓力控制器
它是一個排氣壓力控制器，不斷將腔室的內部壓力控制到任意值。 高分辨率步進電機和結構的蝶閥實現(xiàn)了高速響應和高分辨率性能。
EC-5104 系列
| 框架尺寸 | 西北 40 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | SUS-316L，氟橡膠 ® |
|
電導 率（真空范圍） |
0.4 ? 80 升/秒 |
|
100 mmH2O 時的出口流量（完全關閉） |
20 升/分鐘
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EC-5105 系列
| 框架尺寸 | 西北 50 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | SUS-316L，氟橡膠 ® |
|
電導 率（真空范圍） |
0.6 ? 200 升/秒 |
|
100 mmH2O 時的出口流量（完全關閉） |
25 升/分鐘 |
EC-5202 系列
| 框架尺寸 |
25mm 特氟龍®配件 1 英寸特氟龍®配件 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | PTFE、PEEK、氟橡膠 ® |
|
電導 率（真空范圍） |
0.4 ? 80 升/秒 |
|
100 mmH2O 時的出口流量（完全關閉） |
3 升/分鐘 |
北崎8年，日本會社20年，專注領域如下：儀器相關：
山高SANKO（代理）、東機產業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）
