HORIBA掘場(chǎng)PD10掩模異物檢查器北崎供應(yīng)

2025/02/12 13:38:01

PD10 重新設(shè)計(jì)了整個(gè)平臺(tái)，包括光學(xué)元件、載物臺(tái)設(shè)計(jì)和核心軟件。該分析儀的高可用性和長期穩(wěn)定性得到了保留，同時(shí)作的便利性也得到了極大的提高。增強(qiáng)的自動(dòng)化增強(qiáng)功能，例如具有可靠光學(xué)元件的“Scan”、具有新功能的“Review”以及與創(chuàng)新傳感器相結(jié)合的“Analysis”，可實(shí)現(xiàn)智能工廠支持。

業(yè)務(wù)領(lǐng)域：半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別：計(jì)量學(xué)

制造商： HORIBA， Ltd.

型		PD10
大小	（寬） x （深） x （高）	1,000 x 1,850 x 1,600 毫米
重量		約 950 公斤
敏感性	陣列曲面	0.5 μm / 0.35 μm （0.1 μm：用于掩模落料機(jī)）1 2
	玻璃表面	5.0 μm（0.5 μm - ：高靈敏度選項(xiàng)）1 2
	Pellicle 表面	10.0 μm （0.5 μm - ：高靈敏度選項(xiàng)）1 2
光源		633 nm He-Ne 激光器或 488 nm 固定激光器
標(biāo)線大小		兼容 5 英寸 ~ 9 英寸
箱式開關(guān)柜		兼容 SMIF POD 和其他情況
測(cè)量時(shí)間		約 12 分鐘（測(cè)量開始 ~ 數(shù)據(jù)顯示、6 英寸 2 面檢查）
面板表面處理		SUS 面板
設(shè)施環(huán)境	清潔	6 級(jí) ISO 標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)施環(huán)境	溫度	23 +/- 1°C
效用	權(quán)力	AC200~240 V，2 kVA 50/60Hz
	真空源	壓力：-80 kPa 或更低
	壓縮空氣	0.6 MPa ~ 0.7 MPa
新功能/選項(xiàng)	標(biāo)線邊緣處理	是的
	自動(dòng)捕獲 / 自動(dòng)填充	是的
	數(shù)據(jù)瀏覽功能	是的
	減少假陽性	是的

可滾動(dòng)

*1 PSL 顆粒等效靈敏度

*2 檢測(cè)靈敏度因樣品的類型和條件而異。我們建議在購買前進(jìn)行樣品評(píng)估。

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